Deposition of B4C/BCN/c-BN multilayered thin films by r.f. magnetron sputtering

Bejarano, G.; Caicedo, J. M.; Baca, E.; Prieto, P.; Balogh, A. G.; Enders, S.

Deposition of B₄C/BCN/c-BN multilayered thin films by r.f. magnetron sputtering

Bejarano, G., Caicedo, J. M., Baca, E., Prieto, P., Balogh, A. G., & Enders, S. (2006). Deposition of B₄C/BCN/c-BN multilayered thin films by r.f. magnetron sputtering. Thin Solid Films, 494(1-2), 53-57.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4656-4 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4657-2

資料種別: 学術論文

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Bejarano, G.¹, 著者
Caicedo, J. M.¹, 著者
Baca, E.¹, 著者
Prieto, P.¹, 著者
Balogh, A. G.¹, 著者
Enders, S.², 著者

所属:
1Departamento de Física, Universidad del Valle, A.A. 25360, Cali, Colombia; Laboratorio de Recubrimientos Duros del CDT-ASTIN SENA, Cali, Colombia; Institute for Material Science, Darmstadt University of Technology, Germany, ou_persistent22
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt; Cubic boron nitride; Magnetron sputtering; Multilayers; Hard coatings adhesion improvement

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 修正: 2006-08-04出版: 2006-01-03

出版の状態: 出版

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目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 284929

学位: -

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出版物 1

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出版物名: Thin Solid Films

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 494 (1-2) 通巻号: - 開始・終了ページ: 53 - 57 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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