Thin tantalum-silicon-oxygen/tantalum-silicon-nitrogen films as high efficiency 
humidity diffusion barriers for solar cell encapsulation

Heuer, H.; Wenzel, C.; Herrmann, D.; Hubner, R.; Zhang, Z. L.; Bartha, J. W.

Thin tantalum-silicon-oxygen/tantalum-silicon-nitrogen films as high efficiency humidity diffusion barriers for solar cell encapsulation

Heuer, H., Wenzel, C., Herrmann, D., Hubner, R., Zhang, Z. L., & Bartha, J. W. (2006). Thin tantalum-silicon-oxygen/tantalum-silicon-nitrogen films as high efficiency humidity diffusion barriers for solar cell encapsulation. Thin Solid Films, 515(4), 1612-1617.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-44FF-7 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4500-A

資料種別: 学術論文

その他のタイトル : Thin Solid Films

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Heuer, H.¹, 著者
Wenzel, C.¹, 著者
Herrmann, D.¹, 著者
Hubner, R.¹, 著者
Zhang, Z. L.², 著者
Bartha, J. W.¹, 著者

所属:
1Tech Univ Dresden, IHM, D-01062 Dresden, Germany; ZSW Forsch, D-70565 Stuttgart, Germany; Leibniz Inst Festkorper & Werkstoffforsch Dresden, IFW, D-01069 Dresden, Germany, ou_persistent22
2Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Emeriti and Others;

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2006-12-05

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 318153
ISI: 000242931900061

学位: -

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出版物 1

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出版物名: Thin Solid Films

出版物の別名 : Thin Solid Films

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 515 (4) 通巻号: - 開始・終了ページ: 1612 - 1617 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0040-6090

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