Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation 
process in the Ge/Pt/Ge/SiO2/Si structure

Laszcz, A.; Ratajczak, J.; Czerwinski, A.; Katcki, J.; Srot, V.; Phillipp, F.; van Aken, P. A.; Breil, N.; Larrieu, G.; Dubois, E.

Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/Ge/SiO₂/Si structure

Laszcz, A., Ratajczak, J., Czerwinski, A., Katcki, J., Srot, V., Phillipp, F., van Aken, P. A., Breil, N., Larrieu, G., & Dubois, E. (2008). Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/Ge/SiO₂/Si structure. Materials Science and Engineering B, 154–155, 175-178.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-416A-2 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-416B-F

資料種別: 会議論文

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Laszcz, A.¹, 著者
Ratajczak, J.¹, 著者
Czerwinski, A.¹, 著者
Katcki, J.¹, 著者
Srot, V.², 著者
Phillipp, F.², 著者
van Aken, P. A.², 著者
Breil, N.¹, 著者
Larrieu, G.¹, 著者
Dubois, E.¹, 著者

所属:
1Institute of Electron Technology, Al. Lotników 32/46, 02-668 Warsaw, Poland;IEMN/ISEN, UMRS CNRS 8520, Avenue Poincare, Cite Scientifique, BP 69, 59652 Villeneuve d’ Ascq Cedex, France;STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles, France., ou_persistent22
2Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Stuttgart Center for Electron Microscopy (StEM);

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2008

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 394967

学位: -

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出版物 1

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出版物名: Materials Science and Engineering B

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 154–155 通巻号: - 開始・終了ページ: 175 - 178 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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