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  Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/Ge/SiO2/Si structure

Laszcz, A., Ratajczak, J., Czerwinski, A., Katcki, J., Srot, V., Phillipp, F., et al. (2008). Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/Ge/SiO2/Si structure. Materials Science and Engineering B, 154–155, 175-178.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-416A-2 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-416B-F
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Laszcz, A.1, Autor
Ratajczak, J.1, Autor
Czerwinski, A.1, Autor
Katcki, J.1, Autor
Srot, V.2, Autor           
Phillipp, F.2, Autor           
van Aken, P. A.2, Autor           
Breil, N.1, Autor
Larrieu, G.1, Autor
Dubois, E.1, Autor
Affiliations:
1Institute of Electron Technology, Al. Lotników 32/46, 02-668 Warsaw, Poland;IEMN/ISEN, UMRS CNRS 8520, Avenue Poincare, Cite Scientifique, BP 69, 59652 Villeneuve d’ Ascq Cedex, France;STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles, France., ou_persistent22              
2Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Stuttgart Center for Electron Microscopy (StEM);
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2008
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 394967
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: E-MRS Spring Meeting 2008
Veranstaltungsort: Strasbourg, France
Start-/Enddatum: 2008-05-26 - 2008-05-30

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Materials Science and Engineering B
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 154–155 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 175 - 178 Identifikator: -