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  Chemical bonds in damaged and pristine low-κ materials: A comparative EELS study

Stegmann, H., Özdöl, V. B., Koch, C., van Aken, P. A., Engelmann, J., Potapov, P., et al. (2008). Chemical bonds in damaged and pristine low-κ materials: A comparative EELS study. Microelectronic Engineering, 85, 2169-2171.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4138-3 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4139-1
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Stegmann, H.1, Autor
Özdöl, V. B.2, Autor           
Koch, C.2, 3, Autor           
van Aken, P. A.2, Autor           
Engelmann, J.1, Autor
Potapov, P.1, Autor
Zschech, E.1, Autor
Affiliations:
1AMD Saxony LLC & Co., KG, Dresden, Germany; Carl Zeiss NTS GmbH, Innovation Center Dresden, Manfred-von-Ardenne-Ring 20E, 01099 Dresden, Germany, ou_persistent22              
2Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669              
3Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Stuttgart Center for Electron Microscopy (StEM);
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2008
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 379416
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Twelfth European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2008 (MAM2008)
Veranstaltungsort: Dresden, Germany
Start-/Enddatum: 2008-03-02 - 2008-03-05

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Microelectronic Engineering
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 85 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 2169 - 2171 Identifikator: -