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  Quantitative local strain analysis of Si/SiGe heterostructures using HRTEM

Özdöl, V. B., Phillipp, F., Kasper, E., & van Aken, P. A. (2008). Quantitative local strain analysis of Si/SiGe heterostructures using HRTEM. In M. Luysberg, K. Tillmann, & T. Weirich (Eds.), EMC2008, 14th European Microscopy Congress, Vol. 1: Instrumentation and Methods (pp. 141-142). Berlin [et al.]: Springer.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-40E8-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-40E9-E
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Özdöl, V. B.1, Autor           
Phillipp, F.1, Autor           
Kasper, E.2, Autor
van Aken, P. A.1, Autor           
Affiliations:
1Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669              
2Institute for Semiconductor Engineering, Stuttgart University, Pfaffenwaldring 47,D-70569 Stuttgart, Germany, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Intelligente Systeme; Stuttgart Center for Electron Microscopy (StEM);
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2008
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Interne Begutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 376637
DOI: 10.1007/978-3-540-85226-1_71
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 14th European Microscopy Congress
Veranstaltungsort: Aachen, Germany
Start-/Enddatum: 2008-09-01 - 2008-09-05

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: EMC2008, 14th European Microscopy Congress, Vol. 1: Instrumentation and Methods
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Luysberg, M., Herausgeber
Tillmann, K., Herausgeber
Weirich, T., Herausgeber
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe: Berlin [et al.] : Springer
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 141 - 142 Identifikator: -