Investigation of the bulge test response of molybdenum thin films at room 
temperature and at 100 °C

Walter, M. E.; Schneider, A. S.; Wübben, T.; Richter, G.; Arzt, E.

doi:10.1111/j.1475-1305.2008.00496.x

Investigation of the bulge test response of molybdenum thin films at room temperature and at 100 °C

Walter, M. E., Schneider, A. S., Wübben, T., Richter, G., & Arzt, E. (2009). Investigation of the bulge test response of molybdenum thin films at room temperature and at 100 °C. Strain, 45, 238-248. doi:10.1111/j.1475-1305.2008.00496.x.

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資料種別: 学術論文

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Walter, M. E.¹, 著者
Schneider, A. S.², 著者
Wübben, T.², 著者
Richter, G.^{3, 4}, 著者
Arzt, E.^{2, 5}, 著者

所属:
1Department of Mechanical Engineering, E331 Scott Laboratory; The Ohio State University, Columbus, OH, USA; Infineon, Villach, Österreich; Leibniz-Institut für Neue Materialien gGmbH, Saarbrücken, ou_persistent22
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655
3Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657
4Central Scientific Facility Thin Film Laboratory, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497640
5Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2009

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 431671
DOI: 10.1111/j.1475-1305.2008.00496.x

学位: -

訴訟

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出版物 1

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出版物名: Strain

種別: 学術雑誌

著者・編者:

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 45 通巻号: - 開始・終了ページ: 238 - 248 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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