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  Transmission electron microscopy study of erbium silicide formation from Ti/Er stack for Schottky contact applications

Ratajczak, J., Łaszcz, A., Czerwinski, A., Katcki, J., Phillipp, F., van Aken, P. A., et al. (2010). Transmission electron microscopy study of erbium silicide formation from Ti/Er stack for Schottky contact applications. Journal of Microscopy, 237(3), 379-383.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3B64-A Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3B66-6
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Ratajczak, J.1, Autor
Łaszcz, A.1, Autor
Czerwinski, A.1, Autor
Katcki, J.1, Autor
Phillipp, F.2, Autor           
van Aken, P. A.2, Autor           
Reckinger, N.1, Autor
Dupois, E.1, Autor
Affiliations:
1Institute of Electron Technology, Al. Lotnik´ow 32/46, 02-668 Warsaw, Poland;Université catholique de Louvain, Place du Levant 3, 1348 Louvain-la-Neuve, Belgium;IEMN/ISEN, UMRS CNRS 8520, Avenue Poincare, Cite Scientifique, BP 69, 59652 Villeneuved’ Ascq Cedex, France., ou_persistent22              
2Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Stuttgart Center for Electron Microscopy (StEM);
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2010
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 458868
DOI: 10.1111/j.1365-2818.2009.03264.x
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: EM 2008 - XIII International Conference on Electron Microscopy
Veranstaltungsort: Zakopane, Poland
Start-/Enddatum: 2008-06-08 - 2008-06-11

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Microscopy
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 237 (3) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 379 - 383 Identifikator: -