The role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement 
and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films

Holloway, B. C.; Kraft, O.; Shuh, D. K.; Nix, W. D.; Kelly, M.; Pianetta, P.; Hagström, S.

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The role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films

Holloway, B. C., Kraft, O., Shuh, D. K., Nix, W. D., Kelly, M., Pianetta, P., & Hagström, S. (2000). The role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films. Journal of Vacuum Science and Technology A, 18, 2964-2971.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-38C2-E 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-38C3-C

資料種別: 学術論文

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Holloway, B. C., 著者
Kraft, O.¹, 著者
Shuh, D. K., 著者
Nix, W. D., 著者
Kelly, M., 著者
Pianetta, P., 著者
Hagström, S., 著者

所属:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;

要旨: -

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日付: 出版: 2000

出版の状態: 出版

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査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 199002

学位: -

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出版物名: Journal of Vacuum Science and Technology A

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 18 通巻号: - 開始・終了ページ: 2964 - 2971 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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