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  Microstructure of thermal hillocks on blanket Al thin films

Kim, D., Heiland, B., Nix, W. D., Arzt, E., Deal, M. D., & Plummer, J. D. (2000). Microstructure of thermal hillocks on blanket Al thin films. Thin Solid Films, 371, 278-282.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3810-F Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3811-D
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Kim, D., Autor
Heiland, B.1, Autor           
Nix, W. D., Autor
Arzt, E.1, 2, Autor           
Deal, M. D., Autor
Plummer, J. D., Autor
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              
2Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2000
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 198853
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 371 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 278 - 282 Identifikator: -