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  Chemical liquid deposition of gallium nitride thin films on siloxane-anchored self-assembled monolayers

Niesen, T. P., Puchinger, M., Gerstel, P., Rodewald, D., Wolff, J., Wagner, T., Bill, J., & Aldinger, F. (2002). Chemical liquid deposition of gallium nitride thin films on siloxane-anchored self-assembled monolayers. Materials Chemistry and Physics, 73(2-3), 301-305.

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基本情報

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資料種別: 学術論文
その他のタイトル : Mater. Chem. Phys.

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17-ar_2002.pdf (要旨), 60KB
 
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-
ファイル名:
17-ar_2002.pdf
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制限付き (Max Planck Institute for Intelligent Systems, MSMT; )
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application/pdf
技術的なメタデータ:
著作権日付:
-
著作権情報:
eDoc_access: INSTITUT
CCライセンス:
-

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作成者

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 作成者:
Niesen, T. P.1, 著者           
Puchinger, M.2, 著者           
Gerstel, P.1, 著者           
Rodewald, D.3, 著者
Wolff, J.3, 著者
Wagner, T.4, 著者           
Bill, J.5, 著者           
Aldinger, F.1, 5, 著者           
所属:
1Former Dept. Materials Synthesis and Microstructure Design, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497654              
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              
3Siemens & Shell Solar GmbH, D-81739 Munich, Germany; Univ Stuttgart, Pulvermet Lab, Max Planck Inst Met Forsch, D-70569 Stuttgart, Germany; Univ Stuttgart, Inst Nichtmet Anorgan Mat, D-70569 Stuttgart, Germany;, ou_persistent22              
4Central Scientific Facility Thin Film Laboratory, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497640              
5Universität Stuttgart, Institut für Nichtmetallische Anorganische Materialien, ou_persistent22              

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Aldinger; Abt. Arzt; Abt. Arzt; ZWE Dünnschichtlabor; 17-ar_2002; gallium nitride (GaN); thin films; self-assembled monolayers; chemical liquid deposition; precursor pyrolysis
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2002-01-15
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子(DOI, ISBNなど): eDoc: 28723
ISI: 000173252100030
 学位: -

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出版物 1

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出版物名: Materials Chemistry and Physics
  出版物の別名 : Mater. Chem. Phys.
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: 73 (2-3) 通巻号: - 開始・終了ページ: 301 - 305 識別子(ISBN, ISSN, DOIなど): ISSN: 0254-0584