Improvement of the depth resolution in sputter depth profiling by elastic peak 
electron spectroscopy

Kesler, V.; Hofmann, S.

Improvement of the depth resolution in sputter depth profiling by elastic peak electron spectroscopy

Kesler, V., & Hofmann, S. (2002). Improvement of the depth resolution in sputter depth profiling by elastic peak electron spectroscopy. Surface and Interface Analysis, 33(8), 635-639.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3054-C 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3055-A

資料種別: 学術論文

その他のタイトル : Surf. Interface Anal.

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Kesler, V.¹, 著者
Hofmann, S.², 著者

所属:
1SB AS Russia, Inst Semicond Phys, Novosibirsk, Russia, ou_persistent22
2Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer; depth profiling; elastic peak spectroscopy; Ge/Si multilayers; MRI model

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2002-08

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 6727
ISI: 000177531100002

学位: -

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出版物 1

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出版物名: Surface and Interface Analysis

出版物の別名 : Surf. Interface Anal.

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 33 (8) 通巻号: - 開始・終了ページ: 635 - 639 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0142-2421

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