Growth of electromigration-induced hillocks in Al interconnects

Nucci, J. A.; Straub, A.; Bischoff, E.; Arzt, E.; Volkert, C. A.

Growth of electromigration-induced hillocks in Al interconnects

Nucci, J. A., Straub, A., Bischoff, E., Arzt, E., & Volkert, C. A. (2002). Growth of electromigration-induced hillocks in Al interconnects. Journal of Materials Research, 17(10), 2727-2735.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2FE6-B 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2FE7-9

資料種別: 学術論文

その他のタイトル : J. Mater. Res.

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eDoc_access: INSTITUT

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Nucci, J. A.¹, 著者
Straub, A.¹, 著者
Bischoff, E.^{2, 3}, 著者
Arzt, E.^{1, 4}, 著者
Volkert, C. A.¹, 著者

所属:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655
2Former Central Scientific Facility Metallography, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497652
3Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, DE, ou_1497657
4Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt; Abt. Rühle; ZWE Metallographie; 41-ar_2002;

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2002-10

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 6693
ISI: 000178351400035

学位: -

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出版物名: Journal of Materials Research

出版物の別名 : J. Mater. Res.

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 17 (10) 通巻号: - 開始・終了ページ: 2727 - 2735 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0884-2914

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