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  Interconnects for Microelectronics

Spolenak, R., & Zschech, E. (2003). Interconnects for Microelectronics. In K., Wetzig, & C. M., Schneider (Eds.), Metal Based Thin Films for Electronics (pp. 7-24). Weinheim: Wiley-VCH.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2E19-C 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2E1A-A
資料種別: 書籍の一部

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作成者

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 作成者:
Spolenak, R.1, 著者           
Zschech, E., 著者
所属:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2003
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: -
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 55978
 学位: -

関連イベント

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Metal Based Thin Films for Electronics
種別: 書籍
 著者・編者:
Wetzig, K., 編集者
Schneider, C. M., 編集者
所属:
-
出版社, 出版地: Weinheim : Wiley-VCH
ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: 7 - 24 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -