Layered nanostructures for the determination of physical parameters in sputter 
depth profiling

Hofmann, S.

Layered nanostructures for the determination of physical parameters in sputter depth profiling

Hofmann, S. (2004). Layered nanostructures for the determination of physical parameters in sputter depth profiling. In Proceedings of the First International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology (SMAM 1) (pp. 20-27).

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2BCF-C 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2BD0-6

資料種別: 会議論文

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Hofmann, S.¹, 著者

所属:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644

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キーワード: MPI für Intelligente Systeme; Emeriti and Others;

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2004

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 218232

学位: -

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出版物 1

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出版物名: Proceedings of the First International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology (SMAM 1)

種別: 会議論文集

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: 20 - 27 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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