Coupling between precipitation and plastic deformation during electromigration 
in a passivated Al (0.5wt%Cu) interconnect

Barabash, R. I.; Ice, G. E.; Tamura, N.; Valek, B. C.; Spolenak, R.; Bravman, J. C.; Patel, J. R.

Coupling between precipitation and plastic deformation during electromigration in a passivated Al (0.5wt%Cu) interconnect

Barabash, R. I., Ice, G. E., Tamura, N., Valek, B. C., Spolenak, R., Bravman, J. C., & Patel, J. R. (2004). Coupling between precipitation and plastic deformation during electromigration in a passivated Al (0.5wt%Cu) interconnect. In R., Carter, C., Hau-Riege, G., Kloster, T.-M., Lu, & S., Schulz (Eds.), Materials, Technology, Annealability for Advanced Interconnects and Low-k Dieelectrics (pp. F7.4.1-F7.4.10). Materials Research Society.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2916-9 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2917-7

資料種別: 会議論文

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Barabash, R. I.¹, 著者
Ice, G. E.¹, 著者
Tamura, N.¹, 著者
Valek, B. C.¹, 著者
Spolenak, R.², 著者
Bravman, J. C.¹, 著者
Patel, J. R.¹, 著者

所属:
1Metals & Ceramics Divisions, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge TN 37831; Lawrence Berkeley National Laboratory, 1 Cyclotron Road, Berkeley CA 94720; Dept. Materials Science & Engineering, Stanford University, Stanford CA 94305;, ou_persistent22
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;

要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English

日付: 出版: 2004-06-20

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 174881

学位: -

訴訟

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出版物 1

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出版物名: Materials, Technology, Annealability for Advanced Interconnects and Low-k Dieelectrics

種別: 会議論文集

著者・編者:
Carter, R., 編集者
Hau-Riege, C., 編集者
Kloster, G., 編集者
Lu, T-M., 編集者
Schulz, S.¹, 編集者

所属:
1 Dept. New Materials and Biosystems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497649

出版社, 出版地: Materials Research Society

ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: F7.4.1 - F7.4.10 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

出版物 2

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出版物名: Materials Research Society Symposium Proceedings

種別: 連載記事

著者・編者:

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 812 通巻号: - 開始・終了ページ: - 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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