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出版物名:
Materials, Technology, Annealability for Advanced Interconnects and Low-k Dieelectrics
種別:
会議論文集
著者・編者:
Carter, R., 編集者
Hau-Riege, C., 編集者
Kloster, G., 編集者
Lu, T-M., 編集者
Schulz, S.1, 編集者
所属:
1
Dept. New Materials and Biosystems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497649
出版社, 出版地:
Materials Research Society
ページ:
-
巻号:
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通巻号:
-
開始・終了ページ:
F7.4.1 - F7.4.10
識別子(ISBN, ISSN, DOIなど):
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