Unexpected mode of plastic deformation in Cu damascene lines undergoing 
electromigration

Budiman, A. S.; Tamura, N.; Valek, B. C.; Gadre, K.; Maiz, J.; Spolenak, R.; Caldwell, W. A.; Nix, W. D.; Patel, J. R.

Unexpected mode of plastic deformation in Cu damascene lines undergoing electromigration

Budiman, A. S., Tamura, N., Valek, B. C., Gadre, K., Maiz, J., Spolenak, R., Caldwell, W. A., Nix, W. D., & Patel, J. R. (2004). Unexpected mode of plastic deformation in Cu damascene lines undergoing electromigration. In R., Carter, C., Hau-Riege, G., Kloster, T.-M., Lu, & S., Schulz (Eds.), Materials, Technology, Annealability for Advanced Interconnects and Low-k Dieelectrics (pp. F7.3.1-F7.3.6). Boston: MRS.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2914-D 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2915-B

資料種別: 会議論文

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Budiman, A. S.¹, 著者
Tamura, N.¹, 著者
Valek, B. C.¹, 著者
Gadre, K.¹, 著者
Maiz, J.¹, 著者
Spolenak, R.², 著者
Caldwell, W. A.¹, 著者
Nix, W. D.¹, 著者
Patel, J. R.¹, 著者

所属:
1Department of Materials Science & Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305; Advanced Light Source (ALS), Lawrence Berkeley National Laboratory (LBNL), 1 Cyclotron Rd., Berkeley, California 94720; Intel Corporation, Hillsboro, Oregon 97124;, ou_persistent22
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655

内容説明

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キーワード: MPI für Intelligente Systeme; Ehemalige Abt. Arzt;

要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English

日付: 出版: 2004-06-20

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 174879

学位: -

訴訟

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出版物 1

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出版物名: Materials, Technology, Annealability for Advanced Interconnects and Low-k Dieelectrics

種別: 会議論文集

著者・編者:
Carter, R., 編集者
Hau-Riege, C., 編集者
Kloster, G., 編集者
Lu, T-M., 編集者
Schulz, S.¹, 編集者

所属:
1 Dept. New Materials and Biosystems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497649

出版社, 出版地: Boston : MRS

ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: F7.3.1 - F7.3.6 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

出版物 2

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出版物名: Materials Research Society Symposium Proceedings

種別: 連載記事

著者・編者:

所属:

出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 812 通巻号: - 開始・終了ページ: - 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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