Hillock formation and thermal stresses in thin Au films on Si substrates

Sauter, L.; Balk, T. J.; Dehm, G.; Nucci, J. A.; Arzt, E.

Hillock formation and thermal stresses in thin Au films on Si substrates

Sauter, L., Balk, T. J., Dehm, G., Nucci, J. A., & Arzt, E. (2005). Hillock formation and thermal stresses in thin Au films on Si substrates. In T., Buchheit, A. M., Minor, R., Spolenak, & K., Takashima (Eds.), Thin Films—Stresses and Mechanical Properties XI (pp. O5.2.2-O5.2.6). Warrendale, Pa.: Materials Research Society.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-286A-8 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-286B-6

資料種別: 会議論文

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Sauter, L.¹, 著者
Balk, T. J.¹, 著者
Dehm, G.¹, 著者
Nucci, J. A.¹, 著者
Arzt, E.^{1, 2}, 著者

所属:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655
2Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt; thin films, Au, hillocks, stress

要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English

日付: 出版: 2005

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 248774

学位: -

訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Thin Films—Stresses and Mechanical Properties XI

種別: 会議論文集

著者・編者:
Buchheit, T.E., 編集者
Minor, A. M., 編集者
Spolenak, R.¹, 編集者
Takashima, K., 編集者

所属:
1 Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655

出版社, 出版地: Warrendale, Pa. : Materials Research Society

ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: O5.2.2 - O5.2.6 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

出版物 2

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出版物名: Materials Research Society Symposium Proceedings

種別: 連載記事

著者・編者:

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 875 通巻号: - 開始・終了ページ: - 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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