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  Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors

Petigk, T. (2002). Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors. Diploma Thesis, Fachhochschule, Wiesbden.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-6749-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-674A-A
Genre: Hochschulschrift

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Petigk, Thomas1, Autor           
Affiliations:
1MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1309545              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum: 2002
 Publikationsstatus: Angenommen
 Seiten: 145
 Ort, Verlag, Ausgabe: Wiesbden : Fachhochschule
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 65227
Anderer: D 2/02
 Art des Abschluß: Diplom

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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