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  Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors

Petigk, T. (2002). Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors. Diploma Thesis, Fachhochschule, Wiesbden.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-6749-C 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-674A-A
資料種別: 学位論文

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作成者

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 作成者:
Petigk, Thomas1, 著者           
所属:
1MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1309545              

内容説明

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資料詳細

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言語: deu - German
 日付: 2002
 出版の状態: 受理 / 印刷中
 ページ: 145
 出版情報: Wiesbden : Fachhochschule
 目次: -
 査読: -
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 65227
その他: D 2/02
 学位: 学士号 (Diploma)

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