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出版物名:
Journal of Vacuum Science and Technology A
その他
:
種別:
学術雑誌
著者・編者:
所属:
出版社, 出版地:
New York : Published by AVS through the American Institute of Physics
ページ:
-
巻号:
28 (4)
通巻号:
-
開始・終了ページ:
807 - 813
識別子(ISBN, ISSN, DOIなど):
ISSN: 0734-2101
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954928495416_2